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工商時報【涂志豪╱台北報導】

隨著新一代極紫外光（EUV）微影技術日漸成熟，繼英特爾及三星決定在7奈米導入EUV技術後，台積電也計畫在7奈米量產的第二年開始導入EUV技術。業者預估，EUV進入量產時間點將落在2018～2019年之間，2017年將是布建產能及完成技術認證的關鍵年，設備廠家登（3680）EUV光罩盒（EUV Pod）已獲半導體廠大單並量產出貨，對今、明兩年展望樂觀。

微影設備大廠艾司摩爾（ASML）公告去年第四季財報優於預期，其中有關EUV設備部分，已接單未出貨（backlog）數量已達18台，營收規模已達20億歐元。而艾司摩爾指出，客戶端將在7奈米邏輯製程及1y奈米DRAM製程採用EUV技術，今年第一季還可接獲更多EUV機台訂單。

事實上，隨著邏輯製程微縮到7奈米以下，為了有效降低成長及提高產能，EUV技術取代現行的浸潤式技術已是未來趨勢。除了英特爾計畫在7奈米採用EUV技術後，三星也已宣布將在7奈米開始導入EUV製程。

台積電原本預期在5奈米世代才會導入EUV，但共同執行長劉德音於日前法說會中指出，將在7奈米量產後一年，也就是2019年，開始在部分光罩製程中採用EUV技術，希望可以讓製程更成熟以利5奈米時可大量導入EUV。

由此來看，EUV真正導入量產時間點，將落在2018～2019年之間，而2017年將是加快布建EUV產能並完成製程認證的重要時間。也因此，在EUV光罩盒擁有許多專利的家登，將成為微影技術快速走向EUV時代的主要受惠者，今年已接獲國際半導體大廠的EUV光罩盒訂單並小量出貨，明年出貨量將明顯放大，2019年可望擠身全球最大EUV光罩盒供應商。

家登去年第四季受惠於光罩及晶圓傳載產品持續拿下台灣及大陸等地晶圓代工廠大單，12月合併營收月增14.1％達2.48億元，創下單月營收歷史新高，去年第四季合併營收6.54億元，季增22.2％並創歷史新高。

法人指出，家登在12吋晶圓光罩盒及晶圓傳載方案上布局多年，今年不僅受惠於大陸晶圓廠訂單持續轉強，也在EUV光罩盒上順利搶下前三大半導體廠訂單。家登過去2年的產能布局已經完成，今年可望進入收割期，全年營收及獲利將改寫歷史新高。

(中央社記者張榮祥台南16日電）歐式自助餐對都會小孩司空見慣，偏鄉學子卻一餐難求；80名台南沿海偏鄉小學生今天魚貫走進大億麗緻酒店用餐，看到整廳的菜色，交頭接耳說，每樣看起來都好好吃喔。

耶誕節快到了，大億吳金茂基金會和雲嘉南濱海國家風景區管理處，今天招待台南市北門區雙春國小、蚵寮國小、三慈國小、錦湖國小、北門國小及文山國小80名學生到大億麗緻酒店享用歐式自助餐，提前過耶誕。

接受招待的小學生，多來自台南沿海，穿著樸素的他們，走進富麗堂皇的酒店大廳，紛紛發出讚嘆聲，直說「好漂亮喔」，接著被安排到地下樓層用餐；用餐前，老師逐桌教導用餐禮節及如何點餐，學生們宛如在教室上課，用心聆聽，相較於吵雜的餐廳，格外顯得安靜。

北門區這6所國小，學生多僅數十人，今天被安排到市區用餐的學生，多是五、六年級生，很多學生說，他們雖曾到過台南市區，但不曾到五星級飯店用餐。

在老師的指揮帶領下，學生們拿起盤子走向各自喜歡的菜色，夾菜點餐，臉上盡是欣喜，吃得也很開心，也非常守秩序。

酒店更請出點心師傅，當場教學生們DIY製作薑餅人，讓他們帶回家，也為耶誕留下難忘的回憶。1051216

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